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基于空氣粒子計(jì)數(shù)器的潔凈室實(shí)時顆粒管控技術(shù)方案

更新時間:2025-09-11   點(diǎn)擊次數(shù):77次


一、技術(shù)選型與標(biāo)準(zhǔn)適配

00001. ?粒徑范圍?

· 需覆蓋0.1μm~10μm的顆粒檢測,半導(dǎo)體/醫(yī)藥行業(yè)需重點(diǎn)關(guān)注0.3μm~5μm的敏感粒徑。

· 激光粒子計(jì)數(shù)器(如0.1μm分辨率)適用于高精度場景,光散射法傳感器適合成本敏感型應(yīng)用。

00002. ?流量選擇?

· 大流量(28.3L/min)適用于快速掃描,小流量(2.83L/min)適合高精度區(qū)域監(jiān)測。

00003. ?合規(guī)性?

· 設(shè)備需符合ISO 14644-1、GMP等標(biāo)準(zhǔn),校準(zhǔn)需遵循JJF1190-2008規(guī)范。

二、實(shí)時監(jiān)測系統(tǒng)架構(gòu)

· ?硬件組成?

· 粒子計(jì)數(shù)器(多測點(diǎn)布局)、浮游菌采樣器(制藥行業(yè))、溫濕度傳感器。

· 數(shù)據(jù)采集模塊支持Modbus/RS485協(xié)議,實(shí)現(xiàn)設(shè)備互聯(lián)。

· ?軟件功能?

· 動態(tài)閾值預(yù)警(如ISO 5級超標(biāo)自動報(bào)警)、數(shù)據(jù)可視化看板、歷史趨勢分析。

· 支持與FFU風(fēng)機(jī)、HVAC系統(tǒng)聯(lián)動,實(shí)現(xiàn)凈化強(qiáng)度自動調(diào)節(jié)。

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三、行業(yè)差異化方案

行業(yè)

核心需求

典型配置

半導(dǎo)體

0.1μm顆粒控制,防電路短路

激光粒子計(jì)數(shù)器+多測點(diǎn)布局

制藥

微生物關(guān)聯(lián)監(jiān)測,符合GMP動態(tài)要求

浮游菌采樣器+粒子計(jì)數(shù)器組合

電子裝配

成本敏感,中等潔凈度

光散射法傳感器+局部監(jiān)測

四、實(shí)施關(guān)鍵步驟

00001. ?測點(diǎn)布置?

· 層流室≥20個測點(diǎn),亂流室每50㎡設(shè)5個,高度1m(參考ISO 14644-2)。

00002. ?狀態(tài)區(qū)分?

· 動態(tài)檢測數(shù)據(jù)(生產(chǎn)狀態(tài)下)比空態(tài)/靜態(tài)更具實(shí)際參考價(jià)值。

00003. ?維護(hù)校準(zhǔn)?

· 6個月校準(zhǔn)激光光源,定期清潔采樣口避免堵塞。

五、數(shù)據(jù)管理與擴(kuò)展功能

· ?數(shù)據(jù)存儲與分析?

· 采用云端存儲技術(shù),確保數(shù)據(jù)的安全性和可追溯性。

· 通過高級分析工具,識別顆粒物來源和趨勢,優(yōu)化管控策略。

· ?擴(kuò)展功能?

· 集成AI算法,預(yù)測潛在污染事件,提前采取預(yù)防措施。

· 支持移動端訪問,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和管理。

 


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